זרימת תהליך עיקרית של לוח OLED גמיש
1. מצע ITO טיפול מקדים
ITO משמש כאנודה, והסרט נוצר בדרך כלל בתהליך של ביצוע המטוס האחורי TFT. השטוחות והניקיון של משטח המצע ישפיעו על הצמיחה של חומרים אורגניים דקים וביצועי ה- OLED, ולכן יש לנקות בקפדנות את משטח ה- ITO.
2. היווצרות סרט EL
לאחר הטיפול המקדים של מצע ITO, חומרי ה- OLED שהוכנו כוללים מולקולות אורגניות קטנות, פולימרים מולקולריים גבוהים, מתכות וסגסוגות. רוב סרטי המולקולות הקטנות האורגניות מוכנות על ידי אידוי תרמי ואקום. ניתן להכין מולקולות קטנות אורגניות מסיסות וסרטי פולימר על ידי שיטות פתרון פשוטות יותר, מהירות יותר ובעלות נמוכה יותר. ציפוי ספין, הדפסת הזרקת דיו ולייזר פותחו ברציפות. טכנולוגיה כגון הדפסת העברה. סרטי מתכת וסגסוגת מוכנים בדרך כלל על ידי אידוי תרמי ואקום. להלן מתמקד בשני התהליכים של אידוי תרמי ואקום והדפסת הזרקת דיו.
(1) אידוי תרמי ואקום: מתייחס לאידוי החומר המאודה לאטומים או למולקולות באמצעות חימום זרם חשמלי, הפגזת קרן אלקטרונים וחימום לייזר בחלל ריק. פני השטח של הסדין מרוכזים כדי ליצור סרט דק. המיקום הספציפי של סרט תצהיר האדים נשלט על ידי מסכת מתכת עדינה (FMM, כלומר, מסכת מתכת בחדות גבוהה).
לתהליך האידוי יש דרישות קפדניות על מידת הוואקום, עובי הסרט, יישור FMM ובקרת טומאה במהלך הובלת חומרים. נכון לעכשיו, תהליך תצהיר האדים יש את הציוד הגבוה ביותר ואת הבשלות הטכנולוגית בין שיטות שונות ליצירת סרט EL, והוא יכול לשמש להכנת שכבות הזרקה, שכבות הובלה, שכבות פולטות אור וחומרי קתודה. החסרונות שלה הם מהירות היווצרות סרט איטית, ניצול נמוך של חומרים אורגניים, ואחידות ירודה של היווצרות סרט בגודל גדול. לכן, תהליך האידוי משמש בעיקר להכנת מכשירי OLED קטנים ובינוניים.
(2) הדפסת הזרקת דיו: מתייחס למילוי מראש של חומרי שכבה פונקציונליים אורגניים שונים למחסניות דיו, שימוש במחשב להמרת מידע גרפי לאותות דיגיטליים, ושליטה בתנועת החרירים והשחילה של טיפות דיו. יש לרסס לעמדה המתאימה כדי ליצור את התבנית הנדרשת, כדי להשיג תצהיר מדויק, כמותי ומיצוב, ולהשלים את המוצר המודפס הסופי. ניתן להשתמש בהדפסת הזרקת דיו להכנת שכבות הובלת חורים, שכבות פולטות אור וחומרי קתודה. שכבות אחרות עדיין צריכות להסתיים בעזרת תהליך אידוי. טכנולוגיית הדפסת הזרקת הדיו בשכבה מלאה נמצאת בפיתוח. בהשוואה לאידוי, תהליך הדפסת הזרקת הדיו הוא פשוט, משפר מאוד את קצב ניצול החומרים, ומתאים להכנת התקני OLED בגודל גדול. בעתיד, עם הבשלות ויישום בקנה מידה גדול של טכנולוגיית ההדפסה, ניתן להפחית מאוד את עלות הייצור של OLED.
בין הטכנולוגיות הקשורות של הדפסת הזרקת דיו, הפיתוח של דיו פולימרי מולקולרי גבוה הוא החשוב ביותר, כי האחידות של טיפות שנפלטו תלויה בעיקר בתכונות הפיזיקליות של הדיו. נכון לעכשיו, בשל היציבות הלא מספקת של תהליך ניסוח הדיו וההדפסה, קל לגרום לביצועי EL ירודים, אחידות ואמינות. זוהי בעיה טכנית שהדפסת הזרקת דיו צריכה לפתור בדחיפות.
3. תהליך האריזה
על מנת למנוע כניסת מים, חמצן ואבק לחלק הפנימי של מכשיר התצוגה OLED ולגרום לחייו ולביצועיו לרדת, יש צורך לפתח תהליך אריזת OLED. נכון לעכשיו, טכנולוגיות אריזה נפוצות הן אריזות כיסוי זכוכית או מתכת, ואריזה סרט דק.
(1) אנקפסולציית כיסוי מסורתית: בסביבה מלאה בגז אינרטי, זכוכית ה- OLED נקשרת לכיסוי הזכוכית או לכיסוי המתכת עם דבק ריפוי אולטרה סגול, ובכך כורכת את השכבה האורגנית ואת הכיסוי בין הכיסוי למצע. האלקטרודה אטומה כדי לבודד מים, חמצן ואבק מבחוץ. החיסרון של אריזת כיסוי הוא כי כיסוי המתכת קל לעיוות ועיוות, בעוד כיסוי הזכוכית הוא שביר ואינו מתאים לפיתוח של טכנולוגיית OLED גמישה.
(2) אריזת סרט דקה: החלפת אריזת לוח הכיסוי על ידי הפקדת שכבת מגן סרט דק בעובי מסוים היא תהליך האריזה הנוכחי של OLED המיינסטרים. אריזות סרט דק כוללות אריזות סרט דק אנאורגניות, אריזות אורגניות של סרטים דקים ואריזות מרוכבות עם שכבות אורגניות/אנאורגניות חופפות. אריזת סרט דק בדרך כלל מסתמכת על PECVD (Ion משופר כימי אדים תצהיר, כלומר, באמצעות מיקרוגל או תדר רדיו כדי ליינן את הגז המכיל את האטומים המרכיבים את הסרט כדי ליצור פלזמה מקומית. הפלזמה פעילה כימית וקלה לתגובה. על המצע הסרט הדק הרצוי מופקד), אך עם עלייתם של OLEDs גמיש ואת הדרישות לקלילות ורזון, עובי שכבת אנקפסולציה נדרש גם להיות דק יותר ודק יותר. השגת צפיפות טובה בעובי קטן, כדי להשיג תכונות מחסום מים וחמצן מצוינות, הדורשות טכנולוגיית תהליך גבוהה. נכון לעכשיו, התעשייה בוחנת את השימוש ב- ALD (תצהיר שכבה אטומית, שיטה שיכולה להפקיד חומרים על פני השטח של שכבת המצע שכבה אחר שכבה בצורה של סרט מונוטומי, בדומה לתצהיר כימי רגיל) כדי להשיג את ההשפעות לעיל.
